掃描式電子顯微鏡

掃描式電子顯微鏡（scanning electron microscope, SEM）以電子束掃描樣本表面，偵測樣本表面所產生的二次電子數量，做為呈像依據。當樣本表面較突起時，產生的電子會較多，該區域的影像就會較亮，藉此樣本表面的高低起伏變化與微細構造的影像，得以呈現在我們眼前。主要用於微觀樣品觀察。